去离子水的处理步骤：

从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：

1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质

2、然后高压通过反渗透膜

3、*后一般还要经过一步紫外**以去除水中的微生物

4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程*高电阻率可达到18兆。

相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。

去离子水的特点：

1、离子交换树脂制取去离子水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：

原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床→后置保安过滤器→用水点。

（特点：污染比较大，自动化程度低，初期投入低）

2、反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制取去离子水的方式，其基本工艺流程为：

原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→混床→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

（特点：污染小，自动化程度高，初期投入中等，价格适中）

3、反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制取去离子水的的方式，这是一种制取超纯水的*新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：

原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

（特点：环保，自动化程度高，初期投入大，价格相对比较贵）